該蒸汽清洗是專用于很難用液體清洗的場合。是將含有緩蝕劑的清洗劑注射到蒸汽中，然后按一定速度使其通過設備。因此，即使是很難接觸到的部位也都能得到清洗。蒸汽清洗技術也可有效地用作設備的中和與鈍化。